Analisis Pengaruh Variasi Rapat Arus Pulsa Terhadap Morfologi Dan Komposisi Lapisan Komposit Ni-TiN-Al2O3/Si3N4 Dengan Metode Elektrodeposisi Fiona Fatiha (a*), Esmar Budi (b), Teguh Budi Prayitno (b)
(a) Program Studi Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri Jakarta, Jl. Rawamangun Muka, Jakarta 13220, Indonesia.
*piyonapatiha[at]gmail.com
(b) Program Studi Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri Jakarta, Jl. Rawamangun Muka, Jakarta 13220, Indonesia.
Abstract
Penelitian ini bertujuan untuk menganalisis pengaruh variasi rapat arus pulsa terhadap morfologi lapisan komposit Ni-TiN-Al2O3/Si3N4 dengan metode elektrodeposisi. Proses pelapisan dilakukan dengan rapat arus pulsa sebesar 0,3 mA/mm2, 0,4 mA/mm2 dan 0,5 mA/mm2, dilakukan selama 30 menit dengan suhu 40 derajat celcius dan laju pengadukan 600rpm. Selanjutnya dilakukan karakterisasi Scanning Electron Microscopy - Energy Dispersive Spectroscopy (SEM-EDS) untuk menganalisis morfologi. Hasil penelitian menunjukkan pada arus 0,3 mA/mm2, permukaan terlihat kasar dan tidak homogen dengan distribusi butiran yang tidak merata. Terdapat area gelap yang mengindikasikan adanya aglomerasi partikel atau daerah yang belum terlapisi sempurna. Pada arus 0,4 mA/mm2 permukaan mulai menunjukkan struktur yang lebih padat. Ukuran butiran relatif lebih kecil dari rapat arus sebelumnya dan penyebarannya tampak lebih merata, meskipun masih terlihat adanya aglomerasi. Pada arus 0,5 mA/mm2, morfologi permukaan menunjukkan struktur yang lebih halus dan seragam di antara ketiganya. Distribusi partikel tampak lebih merata, ukuran butiran lebih kecil dan lebih compact. Terbentuknya lapisan komposit Ni-TiN-AL2O3/Si3N4 dikonfirmasi melalui identifikasi unsur Ni, Ti, Al, dan Si dalam hasil analisis EDS.
Keywords: Lapisan komposit Ni-TiN-AL2O3/Si3N4- Rapat arus pulsa- Elektrodeposisi- Morfologi permukaan
